激光振鏡是應(yīng)用在激光行業(yè)的掃描振鏡,其工作原理是將激光束入射到兩反射鏡(掃描鏡)上,用計算機控制反射鏡的反射角度,這兩個反射鏡可分別沿X、Y軸掃描,從而達到激光束的偏轉(zhuǎn),是具有一定功率密度的激光聚焦點在達標材料行按所需的要求運動。
在材料表面上留下永久的標記,激光控制系統(tǒng)是激光加工設(shè)備的重要組成部分,負責(zé)進行決策、執(zhí)行和驅(qū)動,與激光硬件高度配合,組成成套激光加工設(shè)備。
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隨著技術(shù)的持續(xù)發(fā)展,以提升激光加工速度和精度的微加工成為激光加工的一大發(fā)展方向,激光振鏡控制系統(tǒng)是通過鏡片擺動調(diào)整光路,將激光指向目標位置的振鏡控制系統(tǒng)。
振鏡激光具有慣量極小、負載極小、響應(yīng)速度極快等優(yōu)點,適用于高速微加工,主要用于標刻、鉆孔、3D打印、精密切割。
從精度來看,振鏡控制可以達到0.5μm-10μm之間,相對伺服電機精度較高;從速度方便,振鏡控制高速掃描速度可達7mm/s。
因此,激光振鏡控制系統(tǒng)拼接高速、高精度、微加工等特點在高速標刻、激光鉆孔、晶圓切割、FPC板和PCB板切割、激光焊接等方面等能應(yīng)用。