激光振鏡簡略來講是用在激光職業(yè)的一種掃描振鏡,其專業(yè)名詞叫做高速掃描振鏡Galvo scanning system。
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所謂振鏡,又能夠稱之為電流表計(jì),它的規(guī)劃思路徹底沿襲電流表的規(guī)劃辦法,鏡片替代了表針,而探頭的信號(hào)由計(jì)算機(jī)操控的-5V—5V 或-10V-+10V 的直流信號(hào)替代,以完結(jié)預(yù)訂的動(dòng)作。
同轉(zhuǎn)鏡式掃描體系一樣,這種典型的操控體系選用了一對(duì)折返鏡,不一樣的是,驅(qū)動(dòng)這套鏡片的步進(jìn)電機(jī)被伺服電機(jī)所替代,在這套操控體系中,方位傳感器的運(yùn)用和負(fù)反饋回路的規(guī)劃思路進(jìn)一步確保了體系的精度,全部體系的掃描速度和重復(fù)定位精度到達(dá)一個(gè)新的水平。
掃描激光體系無論是用于標(biāo)刻、雕琢,仍是用于微導(dǎo)管鉆孔,它們都要依靠振鏡來準(zhǔn)確定位激光光束。
使用反射鏡級(jí)的硅基材制作契合規(guī)格的電流計(jì)式反射鏡,在這些基材上運(yùn)用了準(zhǔn)確薄膜涂層,以制作出高效的電流計(jì)式反射鏡,后者能反射波長規(guī)模在1.0 至 12.0 μm之間的激光。