掃描振鏡也被稱(chēng)為高速掃描振鏡,是一種專(zhuān)用名詞,它又可以被稱(chēng)之為電流表計(jì),其設(shè)計(jì)思路完全沿襲電流表的設(shè)計(jì)方法,振鏡鏡片取代了表針,而探頭的信號(hào)由計(jì)算機(jī)控制的-5V—5V 或-10V-+10V 的直流信號(hào)取代,以完成預(yù)定的動(dòng)作。
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在結(jié)構(gòu)方面,掃描振鏡的控制系統(tǒng)采用了一對(duì)折返鏡,不同于轉(zhuǎn)鏡式掃描系統(tǒng)的驅(qū)動(dòng)方式,振鏡式掃描系統(tǒng)的驅(qū)動(dòng)方式是伺服電機(jī)。
在這套控制系統(tǒng)中,位置傳感器的使用和負(fù)反饋回路的設(shè)計(jì)思路進(jìn)一步保證了系統(tǒng)的精度,整個(gè)系統(tǒng)的掃描速度和重復(fù)定位精度達(dá)到一個(gè)新的水平。
掃描振鏡的控制系統(tǒng)通過(guò)以下方式進(jìn)行精確定位:
振鏡電機(jī)發(fā)生偏轉(zhuǎn)后,控制電路需要對(duì)電機(jī)的真實(shí)位置進(jìn)行感應(yīng)回饋給控制電路,從而進(jìn)行閉環(huán)控制,實(shí)現(xiàn)精確定位。
常用的傳感器有電容式和光電式,電容式傳感器精度差,受熱影響漂移嚴(yán)重,光電傳感器則很好地克服了這些問(wèn)題,因此,一般高速高精度的振鏡都采用光電式傳感器。