二維振鏡是一種優(yōu)良的矢量掃描器件,通過(guò)驅(qū)動(dòng)器產(chǎn)生的電壓信號(hào)使懸浮在導(dǎo)電桿上的微小振鏡在水平與垂直方向上振動(dòng),從而控制光束的反射角度。
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二維振鏡的工作原理主要基于微電機(jī)系統(tǒng)技術(shù)。其核心部分包括兩個(gè)振鏡,一個(gè)在水平方向振動(dòng),另一個(gè)在垂直方向振動(dòng)。
這兩個(gè)振鏡通常由驅(qū)動(dòng)器產(chǎn)生的電壓信號(hào)所驅(qū)動(dòng),使得懸浮在導(dǎo)電桿上的微小振鏡產(chǎn)生振動(dòng)。
在水平方向上,振鏡進(jìn)行正弦波振動(dòng);而在垂直方向上,振鏡則以2倍頻率進(jìn)行正弦波振動(dòng)。這種振動(dòng)模式使得振鏡能夠精確控制光束的反射角度。
具體來(lái)說(shuō),當(dāng)電壓信號(hào)作用于振鏡時(shí),振鏡的轉(zhuǎn)子會(huì)產(chǎn)生偏轉(zhuǎn),這種偏轉(zhuǎn)是通過(guò)電磁力矩與回復(fù)力矩之間的平衡來(lái)實(shí)現(xiàn)的。偏轉(zhuǎn)角度與施加的電流成正比,因此通過(guò)調(diào)整電流的大小和方向,可以精確地控制振鏡的偏轉(zhuǎn)角度,從而實(shí)現(xiàn)對(duì)光束的精確掃描。
二維振鏡通常應(yīng)用于需要精確控制光束路徑和掃描范圍的場(chǎng)合,如激光打印、激光雕刻、激光切割、生物醫(yī)療等領(lǐng)域,其高精度、高速度和高可靠性的特點(diǎn)使得二維振鏡成為這些領(lǐng)域中的重要器件。