高速掃描振鏡也被稱(chēng)為Galvo scanning system,其設(shè)計(jì)思路源于電流表,在這個(gè)系統(tǒng)中,鏡片取代了表針,而探頭的信號(hào)則由計(jì)算機(jī)控制的直流信號(hào)取代,以實(shí)現(xiàn)預(yù)定的動(dòng)作。
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與轉(zhuǎn)鏡式掃描系統(tǒng)相似,高速掃描振鏡也采用了一對(duì)折返鏡,但驅(qū)動(dòng)這套鏡片的步進(jìn)電機(jī)被伺服電機(jī)所取代。
高速掃描振鏡的應(yīng)用場(chǎng)景相當(dāng)廣泛,主要包括但不限于以下幾個(gè)方面:
激光成像:高速掃描振鏡可以實(shí)現(xiàn)非??焖俚膾呙杷俣?,因此被廣泛應(yīng)用于激光成像領(lǐng)域,如醫(yī)學(xué)成像、地質(zhì)勘探、礦物分析等,在這些應(yīng)用中,高速掃描振鏡能夠精確控制激光束的位置,從而實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量的圖像采集和處理。
光刻:在半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域,高速掃描振鏡的高精度掃描能力使其能夠?qū)崿F(xiàn)精細(xì)的線(xiàn)條和復(fù)雜的圖案刻畫(huà),從而滿(mǎn)足精細(xì)加工的需求。
激光打標(biāo):高速掃描振鏡的掃描速度快,打標(biāo)效果好,因此被廣泛應(yīng)用于汽車(chē)零部件、手機(jī)、電腦、電子產(chǎn)品等領(lǐng)域的打標(biāo)工作,無(wú)論是文字、圖案還是二維碼,都可以實(shí)現(xiàn)快速、清晰的打標(biāo)。
激光顯示與打?。焊咚賿呙枵耒R能夠?qū)崿F(xiàn)二維掃描,用于制作動(dòng)畫(huà)、文字、圖像等,因此也適用于激光顯示和打印領(lǐng)域,通過(guò)精確控制激光束的掃描路徑和速度,可以實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量的圖像和視頻輸出。
激光檢測(cè):在激光檢測(cè)領(lǐng)域,高速掃描振鏡可以實(shí)現(xiàn)高速數(shù)據(jù)采集和圖像處理,從而提高檢測(cè)效率和精度。