小體積振鏡特別是基于微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù)制作的微小可驅(qū)動(dòng)反射鏡，具有一系列顯著的特點(diǎn)和應(yīng)用。

?

小體積振鏡的工作原理主要依賴于電場(chǎng)的效應(yīng)。通過(guò)改變電場(chǎng)的強(qiáng)弱和方向，可以控制振鏡的位移和角度，從而實(shí)現(xiàn)精確的光束控制。
當(dāng)電場(chǎng)施加在振鏡上時(shí)，材料會(huì)發(fā)生形變，導(dǎo)致鏡片的位置和角度發(fā)生微小變化。這種變化會(huì)改變光束的方向，實(shí)現(xiàn)光束的反射或折射。
小體積振鏡具有哪些基本特性？
尺寸與重量：小體積振鏡的鏡面直徑通常只有幾毫米，重量極輕，體積小巧。
材料：振鏡由具有高彈性的金屬或陶瓷片制成，以便能夠振動(dòng)。
結(jié)構(gòu)：振鏡由一塊平行板構(gòu)成，其中一面鍍有反射性材料，稱為反射鏡。在反射鏡后面，有一塊平板作為參考，其位置可以通過(guò)電場(chǎng)進(jìn)行調(diào)控。