激光雷達(dá)振鏡是一種光學(xué)MEMS執(zhí)行器芯片，能夠在驅(qū)動作用下對激光光束進(jìn)行偏轉(zhuǎn)、調(diào)制、開啟閉合及相位控制。

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它廣泛應(yīng)用于投影、顯示、光通信以及激光雷達(dá)等場景中，特別地，在激光雷達(dá)系統(tǒng)中，振鏡是實(shí)現(xiàn)激光束掃描和探測目標(biāo)物體的關(guān)鍵元件。
組成：激光雷達(dá)振鏡通常由兩個相互垂直的反射鏡組成，這種振鏡在激光雷達(dá)系統(tǒng)中被稱為XY振鏡，這兩個反射鏡可以分別控制水平和垂直方向的掃描。
工作原理：當(dāng)激光雷達(dá)工作時，它會向XY振鏡輸入一定的電信號，通過控制振鏡兩個反射鏡的角度，可以控制激光束的掃描方向和掃描范圍，具體來說，當(dāng)電信號改變時，XY振鏡的反射鏡會發(fā)生變化，激光束的反射方向也會相應(yīng)地發(fā)生變化，從而完成了掃描。
激光雷達(dá)振鏡的優(yōu)點(diǎn)
體積?。篗EMS微振鏡擺脫了笨重的馬達(dá)、多發(fā)射器、接收模組等機(jī)械運(yùn)動裝置，毫米級尺寸的微振鏡大大減少了激光雷達(dá)的尺寸。
穩(wěn)定性高：MEMS微振鏡可控性好，可實(shí)現(xiàn)快速掃描，提高了系統(tǒng)的穩(wěn)定性。
精度高：振鏡式激光雷達(dá)能夠快速獲取目標(biāo)物體的三維坐標(biāo)，精度高達(dá)厘米級，可以實(shí)現(xiàn)高精度測繪和目標(biāo)檢測。
成本低：MEMS微振鏡可減少激光發(fā)射器和探測數(shù)量，極大地降低了成本。