振鏡激光掃描的主要優(yōu)勢是高速和精度高,廣泛用于激光加工、生命科學和醫(yī)學診斷等領域,位置傳感器集成在電機設計中,以閉環(huán)伺服控制提供可預測的線性時不變(LTI)系統(tǒng)。
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機械角度可達±20度以上,掃描速率從幾Hz到幾kHz不等;反射鏡較小的低慣性系統(tǒng)通常比重系統(tǒng)具有更快的速度,振鏡可單軸使用,也可組成多軸配置,或者配合互補技術(比如共振或多邊形掃描儀)實現(xiàn)更復雜的掃描形狀。
振鏡控制的基礎架構可分模擬式、數(shù)字式或混合式,軸角度傳感器內置于振鏡構造中,降低運動質量并提高系統(tǒng)性能,所以高性能位置探測器是基本需求。
現(xiàn)代振鏡采用動磁設計提供高扭矩比,對于小型系統(tǒng),通常用小電機推動相對大的負載,如果負載接近或超過轉子慣性可能出現(xiàn)有害的機械共振,這可用陷波濾波器抑制。
放大器的陷波、PID等配置出廠設好,為用戶提供穩(wěn)定可靠的性能。
單軸振鏡套件一般包括振鏡反射鏡、伺服放大器和連接電纜,反射鏡鍍膜選項包括用于紅外和可見光的寬帶膜和用于特定單波長或多波長的介質膜。
完備的振鏡應用還需要購買各種配件、伺服散熱器、振鏡安裝夾具、信號源和光源等等。
雙軸振鏡是用于OEM加工和三軸系統(tǒng)的核心構造模塊,經過匹配調諧的XY雙軸振鏡是搭建高性能掃描系統(tǒng)的關鍵,兩個反射鏡必須確保精確的光路對準。
另外,雙軸振鏡掃描頭兼容各種激光,通過選配鏡頭提供最佳光斑、工作距離和視場,提高激光加工速度。