激光振鏡是應(yīng)用在激光行業(yè)的掃描振鏡,其工作原理是將激光束入射到兩反射鏡(掃描鏡)上,用計(jì)算機(jī)控制反射鏡的反射角度,這兩個(gè)反射鏡可分別沿X、Y軸掃描,從而達(dá)到激光束的偏轉(zhuǎn),是具有一定功率密度的激光聚焦點(diǎn)在達(dá)標(biāo)材料行按所需的要求運(yùn)動(dòng),在材料表面上留下永久的標(biāo)記。
?
激光控制系統(tǒng)是激光加工設(shè)備的重要組成部分,負(fù)責(zé)進(jìn)行決策、執(zhí)行和驅(qū)動(dòng),與激光硬件高度配合,組成成套激光加工設(shè)備。
隨著技術(shù)的持續(xù)發(fā)展,以提升激光加工速度和精度的微加工成為激光加工的一大發(fā)展方向。
激光振鏡控制系統(tǒng)是通過(guò)鏡片擺動(dòng)調(diào)整光路,將激光指向目標(biāo)位置的振鏡控制系統(tǒng),振鏡激光具有慣量極小、負(fù)載極小、響應(yīng)速度極快等優(yōu)點(diǎn),適用于高速微加工,主要用于標(biāo)刻、鉆孔、3D打印、精密切割。
從精度來(lái)看,振鏡控制可以達(dá)到0.5μm-10μm之間,相對(duì)伺服電機(jī)精度較高;從速度方便,振鏡控制高速掃描速度可達(dá)7mm/s。
因此,激光振鏡控制系統(tǒng)拼接高速、高精度、微加工等特點(diǎn)在高速標(biāo)刻、激光鉆孔、晶圓切割、FPC板和PCB板切割、激光焊接等方面等能應(yīng)用。