小體積振鏡是一種微型振鏡,具有超小的體積和內(nèi)置控制器,這種振鏡采用壓電陶瓷電機,具有高精度和可靠性,同時內(nèi)置微處理器及PID控制器,無需外加控制器。
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小體積振鏡廣泛應(yīng)用于激光打標、激光切割、激光焊接等領(lǐng)域,尤其適用于空間有限或需要高精度的應(yīng)用場景。
小體積振鏡的原理是基于微機電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)制作的微小可驅(qū)動反射鏡,這種反射鏡的直徑通常只有幾毫米,具有重量輕、體積小、易于大批量生產(chǎn)、生產(chǎn)成本較低等優(yōu)點,小體積振鏡的鏡面可以快速偏轉(zhuǎn),通過改變激光束的方向來實現(xiàn)瞄準、掃描或動態(tài)聚焦等功能。
小體積振鏡的驅(qū)動原理有多種,如靜電驅(qū)動、電磁驅(qū)動、壓電驅(qū)動、熱電驅(qū)動等,在工作過程中,輸入一個位置信號,小體積振鏡會按照一定電壓與角度的轉(zhuǎn)換比例擺動一定角度,整個過程采用閉環(huán)反饋控制,由位置傳感器、誤差放大器、功率放大器、位置區(qū)分器、電流積分器等五大控制電路共同作用。
通過調(diào)節(jié)輸入信號,可以控制小體積振鏡的偏轉(zhuǎn)角度和偏轉(zhuǎn)速度,從而實現(xiàn)激光束的定向控制,在激光打標、激光切割、激光焊接等領(lǐng)域中,小體積振鏡廣泛應(yīng)用于需要高精度、高速度的場合,如電子元件打標、珠寶首飾打標等。