X軸振鏡是一種光學(xué)掃描設(shè)備,主要用于激光加工、測(cè)量和光學(xué)應(yīng)用等領(lǐng)域,它通常由鏡片、驅(qū)動(dòng)器和控制器等組成,其中鏡片是關(guān)鍵部件,能夠?qū)崿F(xiàn)快速、高精度的偏轉(zhuǎn)。
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X軸振鏡可以通過(guò)高速振動(dòng),使激光束產(chǎn)生線性偏轉(zhuǎn),從而實(shí)現(xiàn)激光在X軸方向上的掃描,這種掃描方式可以大大提高激光加工的效率和精度,因此在工業(yè)生產(chǎn)中得到了廣泛應(yīng)用。
X軸振鏡和Y軸振鏡在結(jié)構(gòu)和功能上有一些區(qū)別。
X軸振鏡是繞著之前定義的空間三維直角坐標(biāo)系的Z軸轉(zhuǎn)動(dòng)的振鏡,其選型應(yīng)當(dāng)滿(mǎn)足以下的要求:
確保入射激光束以4°5的角度入射時(shí),X軸振鏡能夠?qū)⒓す夤獍呷砍休d下來(lái),因此,X軸振鏡的長(zhǎng)度要大于入射光斑的直徑,其寬度要遠(yuǎn)大于入射光斑的直徑,以承載在X軸振鏡上產(chǎn)生的橢圓形變的變化。
Y軸振鏡,即繞著之前定義的空間三維直角坐標(biāo)系的X軸轉(zhuǎn)動(dòng)的振鏡,對(duì)Y軸振鏡的選型比X軸振鏡要更加嚴(yán)格,對(duì)其選型應(yīng)當(dāng)滿(mǎn)足以下的要求:
確保Y軸振鏡能夠承載X軸振鏡所產(chǎn)生的橢圓形變,同時(shí)能夠承載自身轉(zhuǎn)動(dòng)所帶來(lái)的光斑形變,要求其寬度相較于X軸要稍寬些,以承載兩個(gè)振鏡轉(zhuǎn)動(dòng)產(chǎn)生的光斑形變,防止光斑丟失。
確保Y軸振鏡無(wú)論在轉(zhuǎn)動(dòng)狀態(tài)還是靜止?fàn)顟B(tài)下,都能夠完整地接收來(lái)自X軸振鏡反射的光斑,并保證在掃描過(guò)程中不丟失光斑,這就要求其長(zhǎng)度相較于X軸要稍長(zhǎng)些,以便承載來(lái)自X軸全掃描范圍的反射光斑。